前言
電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器制造業(yè)是為電子信息產(chǎn)業(yè)和國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展提供技術(shù)裝備儀器的基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。大力振興電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器制造業(yè)，是貫徹黨的十六大“大力振興裝備制造業(yè)”和《國(guó)務(wù)院關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見(jiàn)》精神，落實(shí)《2006-2020年國(guó)家信息化發(fā)展戰(zhàn)略》，實(shí)現(xiàn)電子信息產(chǎn)業(yè)可持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略舉措。
根據(jù)《信息產(chǎn)業(yè)“十一五”規(guī)劃》的總體部署，在深入調(diào)研、廣泛論證的基礎(chǔ)上，編制本規(guī)劃，以此作為“十一五”我國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的指導(dǎo)性文件，作為進(jìn)一步加強(qiáng)和規(guī)范行業(yè)管理、指導(dǎo)重大工程建設(shè)實(shí)施的依據(jù)。本規(guī)劃主要涉及半導(dǎo)體和集成電路專(zhuān)用設(shè)備、電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備、新型顯示器件專(zhuān)用設(shè)備、新型電子元器件專(zhuān)用設(shè)備等4種發(fā)展前景較好的設(shè)備以及電子測(cè)量?jī)x器領(lǐng)域。
一、“十五”回顧
產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大。“十五”期間，我國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)規(guī)模增長(zhǎng)較快，銷(xiāo)售收入比“九五”末期翻了一番。根據(jù)中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)的統(tǒng)計(jì)，2005年我國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售收入44.9億元、工業(yè)增加值14.1億元、利潤(rùn)總額3.7億元。根據(jù)中國(guó)電子儀器行業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，“十五”末期，我國(guó)電子測(cè)量?jī)x器產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售收入77億元、工業(yè)增加值21.9億元、利潤(rùn)總額4.3億元。各項(xiàng)指標(biāo)均實(shí)現(xiàn)大幅增長(zhǎng)。
部分設(shè)備儀器已能滿足國(guó)內(nèi)需求。6英寸集成電路設(shè)備大部分可立足國(guó)內(nèi)；部分8英寸設(shè)備已進(jìn)入生產(chǎn)線使用；TN/STN-LCD全套后工序設(shè)備、部分TFT-LCD后工序設(shè)備和TN/STN-LCD前工序設(shè)備已批量生產(chǎn)；國(guó)產(chǎn)LED后封裝設(shè)備已占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的20%；太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備已基本成套供應(yīng)并實(shí)現(xiàn)出口；軟磁鐵氧體、硬磁鐵氧體等生產(chǎn)線國(guó)產(chǎn)設(shè)備的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率已達(dá)90%，中低檔設(shè)備已全面取代進(jìn)口并實(shí)現(xiàn)出口，為我國(guó)磁性材料產(chǎn)量位居世界第一發(fā)揮了重要作用。部分中低端電子元器件設(shè)備和電子測(cè)量?jī)x器產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化并走向國(guó)際市場(chǎng)。
技術(shù)創(chuàng)新取得新進(jìn)展。“十五”期間，在政府、企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)的共同努力下，國(guó)內(nèi)電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器技術(shù)創(chuàng)新取得了一定進(jìn)展。100nm高密度等離子體刻蝕機(jī)、大傾角等離子注入機(jī)已初步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，步進(jìn)掃描光刻機(jī)和一批8英寸設(shè)備研發(fā)取得重要進(jìn)展。絲印、編帶等片式元件和部分鋰離子電池設(shè)備已研制成功，表面貼裝焊接設(shè)備已具有較高的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率。光通信測(cè)試儀器技術(shù)水平已接近國(guó)際先進(jìn)水平，部分技術(shù)含量較高的國(guó)產(chǎn)儀器已成功研制。
同時(shí)，目前我國(guó)電子設(shè)備和儀器制造業(yè)還存在許多困難和問(wèn)題，主要是：產(chǎn)業(yè)發(fā)展水平總體較低，關(guān)鍵技術(shù)基礎(chǔ)和設(shè)備研發(fā)制造能力仍然薄弱，難以適應(yīng)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需要；產(chǎn)業(yè)集中度低，具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的企業(yè)和企業(yè)集團(tuán)少；對(duì)外依存度高，引進(jìn)國(guó)外技術(shù)的消化吸收工作跟不上；市場(chǎng)環(huán)境不完善，鼓勵(lì)外商投資和促進(jìn)國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的政策法規(guī)還不健全，設(shè)備儀器關(guān)稅倒掛，政府投入不足；二手設(shè)備大量、廉價(jià)進(jìn)口對(duì)國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)形成了較大沖擊；缺乏能夠開(kāi)發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)產(chǎn)品的高層次人才。
二、“十一五”面臨的形勢(shì)
（一）市場(chǎng)分析
1、 世界市場(chǎng)
世界電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器市場(chǎng)規(guī)模多年來(lái)一直保持較快增長(zhǎng)，2000年達(dá)到頂峰，2001年出現(xiàn)大幅下滑，此后開(kāi)始緩慢復(fù)蘇，2004年基本恢復(fù)到2000年水平，市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1350億美元，占世界電子信息產(chǎn)品市場(chǎng)規(guī)模的6.84%。預(yù)計(jì)未來(lái)幾年市場(chǎng)規(guī)模將以3.5%的增長(zhǎng)率保持穩(wěn)定增長(zhǎng)，到2010年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到1700億美元。其中，半導(dǎo)體和集成電路設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)450億美元，TFT-LCD、PDP、OLED和LED等新型顯示器件專(zhuān)用設(shè)備將超過(guò)200億美元，SMT設(shè)備將超過(guò)50億美元，電子測(cè)量?jī)x器將達(dá)260億美元。
2、國(guó)內(nèi)市場(chǎng)
“十五”期間，我國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器市場(chǎng)快速增長(zhǎng)，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)規(guī)模年均增長(zhǎng)超過(guò)40%，2005年市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1100億元。隨著國(guó)內(nèi)電子信息產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大，現(xiàn)有設(shè)備和儀器不斷更新?lián)Q代，電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器市場(chǎng)規(guī)模將繼續(xù)保持高速增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)“十一五”期間國(guó)內(nèi)電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器市場(chǎng)規(guī)模增速將達(dá)15～20%，2010年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)2000-2500億元。
（二）技術(shù)趨勢(shì)
電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器的生產(chǎn)技術(shù)和產(chǎn)品更新速度明顯高于其他產(chǎn)業(yè)，先進(jìn)的技術(shù)裝備和儀器在相當(dāng)程度上已成為現(xiàn)代信息科技的融合體。隨著信息技術(shù)的飛速發(fā)展，電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器自動(dòng)化程度及技術(shù)門(mén)檻越來(lái)越高。未來(lái)幾年，電子專(zhuān)用設(shè)備和儀器將向數(shù)字化、高精度、集成化、智能化等方向發(fā)展。
電子專(zhuān)用設(shè)備制造與工藝、軟件開(kāi)發(fā)的結(jié)合越來(lái)越緊密，裝備制造商已從單純的提供硬件設(shè)備向提供全面解決方案和全方位服務(wù)的方向拓展。半導(dǎo)體和集成電路專(zhuān)用裝備將適應(yīng)大直徑、細(xì)線寬、超薄膜等工藝需求，趨向于設(shè)備單片式、集成化和生產(chǎn)線自動(dòng)化。新型電子元器件設(shè)備將以先進(jìn)的精密制造技術(shù)為依托，向系統(tǒng)化、集
