傳感器融合了材料科學(xué)、納米技術(shù)、微電子等領(lǐng)域的前沿技術(shù)，是新一代信息技術(shù)、高端制造裝備、新能源汽車等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的先導(dǎo)和基礎(chǔ)，也是智能交通、智能樓宇、智慧醫(yī)療、智慧基礎(chǔ)設(shè)施等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)，具有技術(shù)含量高、經(jīng)濟(jì)效益好、輻射和帶動(dòng)力強(qiáng)等特點(diǎn)。當(dāng)前，全球傳感器技術(shù)加速突破，呈現(xiàn)以下特點(diǎn)與態(tài)勢(shì)。
一、“五化”成為傳感器技術(shù)發(fā)展的重要趨勢(shì)
近年來(lái)，傳感器技術(shù)新原理、新材料和新技術(shù)的研究更加深入、廣泛，新品種、新結(jié)構(gòu)、新應(yīng)用不斷涌現(xiàn)。其中，“五化”成為其發(fā)展的重要趨勢(shì)。
一是智能化，兩種發(fā)展軌跡齊頭并進(jìn)。主要有兩個(gè)發(fā)展方向：一個(gè)方向是多種傳感功能與數(shù)據(jù)處理、存儲(chǔ)、雙向通信等的集成，可全部或部分實(shí)現(xiàn)信號(hào)探測(cè)、變換處理、邏輯判斷、功能計(jì)算、雙向通訊，以及內(nèi)部自檢、自校、自補(bǔ)償、自診斷等功能，具有低成本、高精度的信息采集、可數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和通信、編程自動(dòng)化和功能多樣化等特點(diǎn)。如美國(guó)凌力爾特（Linear Technology）公司的智能傳感器安裝了 ARM架構(gòu)的 32 位處理器。另一個(gè)方向是軟傳感技術(shù)，即智能傳感器與人工智能相結(jié)合，目前已出現(xiàn)各種基于模糊推理、人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、專家系統(tǒng)等人工智能技術(shù)的高度智能傳感器，并已經(jīng)在智能家居等方面得到利用。如 NEC 開發(fā)出了對(duì)大量的傳感器監(jiān)控實(shí)施簡(jiǎn)化的新方法“不變量分析技術(shù)”，并已于今年面向基礎(chǔ)設(shè)施系統(tǒng)投入使用。
二是可移動(dòng)化，無(wú)線傳感網(wǎng)技術(shù)應(yīng)用加快。無(wú)線傳感網(wǎng)技術(shù)的關(guān) 鍵是克服節(jié)點(diǎn)資源限制（能源供應(yīng)、計(jì)算及通信能力、存儲(chǔ)空間等），并滿足傳感器網(wǎng)絡(luò)擴(kuò)展性、容錯(cuò)性等要求。該技術(shù)被美國(guó)麻省理工學(xué)院（MIT）的《技術(shù)評(píng)論》雜志評(píng)為對(duì)人類未來(lái)生活產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響的十大新興技術(shù)之首。目前研發(fā)重點(diǎn)主要在路由協(xié)議的設(shè)計(jì)、定位技術(shù)、時(shí)間同步技術(shù)、數(shù)據(jù)融合技術(shù)、嵌入式操作系統(tǒng)技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)安全技術(shù)、能量采集技術(shù)等方面。迄今，一些發(fā)達(dá)國(guó)家及城市在智能家居、精準(zhǔn)農(nóng)業(yè)、林業(yè)監(jiān)測(cè)、軍事、智能建筑、智能交通等領(lǐng)域?qū)夹g(shù)進(jìn)行了應(yīng)用。如，從 MIT 獨(dú)立出來(lái)的 Voltree Power LLC 公司受美國(guó)農(nóng)業(yè)部的委托，在加利福尼亞州的山林等處設(shè)置溫度傳感器，構(gòu)建了傳感器網(wǎng)絡(luò)，旨在檢測(cè)森林火情，減少火災(zāi)損失。
三是微型化，
MEMS 傳感器研發(fā)異軍突起。隨著集成微電子機(jī)械加工技術(shù)的日趨成熟，MEMS 傳感器將半導(dǎo)體加工工藝（如氧化、光刻、擴(kuò)散、沉積和蝕刻等）引入傳感器的生產(chǎn)制造，實(shí)現(xiàn)了規(guī)模化生產(chǎn)，并為傳感器微型化發(fā)展提供了重要的技術(shù)支撐。近年來(lái)，日本、
美國(guó)、歐盟等在半導(dǎo)體器件、微系統(tǒng)及微觀結(jié)構(gòu)、速度測(cè)量、微系統(tǒng)加工方法/設(shè)備、麥克風(fēng)/揚(yáng)聲器、水平/測(cè)距/陀螺儀、光刻制版工藝和材料性質(zhì)的測(cè)定/分析等技術(shù)領(lǐng)域取得了重要進(jìn)展。目前，MEMS 傳感器技術(shù)研發(fā)主要在以下幾個(gè)方向：（1）微型化的同時(shí)降低功耗；（2）提高精度；（3）實(shí)現(xiàn) MEMS 傳感器的集成化及智慧化；（4）開發(fā)與 光學(xué)、生物學(xué)等技術(shù)領(lǐng)域交叉融合的新型傳感器，如 MOMES 傳感 器（與微光學(xué)結(jié)合）、生物化學(xué)傳感器（與生物技術(shù)、電化學(xué)結(jié)合） 以及納米傳感器（與納米技術(shù)結(jié)合）。
四是集成化，多功能一體化傳感器受到廣泛關(guān)注。傳感器集成化包括兩類：一種是同類型多個(gè)傳感器的集成，即同一功能的多個(gè)傳感 元件用集成工藝在同一平面上排列，組成線性傳感器（如 CCD 圖像 傳感器）。另一種是多功能一體化，如幾種不同的敏感元器件制作在 同一硅片上，制成集成化多功能傳感器，集成度高、體積小，容易實(shí) 現(xiàn)補(bǔ)償和校正，是當(dāng)前傳感器集成化發(fā)展的主要方向。如意法半導(dǎo)體 提出把組合了多個(gè)傳感器的模塊作為傳感器中樞來(lái)提高產(chǎn)品功能；東芝公司已開發(fā)出晶圓級(jí)別的組合傳感器，并于今年 3 月發(fā)布能夠同時(shí)檢測(cè)脈搏、心電、體溫及身體活動(dòng)等 4 種生命體征信息，并將數(shù)據(jù)無(wú) 線發(fā)送至智能手機(jī)或平板電腦等的傳感器模塊“Silmee”。
五是多樣化，新材料技術(shù)的突破加快了多種新型傳感器的涌現(xiàn)。新型敏感材料是傳感器的技術(shù)基礎(chǔ)，材料技術(shù)研發(fā)是提升性能、降低 成本和技術(shù)升級(jí)的重要手段。除了傳統(tǒng)的半導(dǎo)體材料、光導(dǎo)纖維等， 有機(jī)敏感材料、陶瓷材料、超導(dǎo)、納米和生物材料等成為研發(fā)熱點(diǎn)， 生物傳感器、光纖傳感器、氣敏傳感器、數(shù)字傳感器等新型傳感器加 快涌現(xiàn)。如光纖傳感器是利用光纖本身的敏感功能或利用光纖傳輸光波的傳感器，有靈敏度高、抗電磁干擾能力強(qiáng)、耐腐蝕、絕緣性好、體積小、耗電少等特點(diǎn)，目前已應(yīng)用的光纖傳感器可測(cè)量的物理量達(dá)
70 多種，發(fā)展前景廣闊；氣敏傳感器能將被測(cè)氣體濃度轉(zhuǎn)換為與其成一定關(guān)系的電量輸出，具有穩(wěn)定性好、重復(fù)性好、動(dòng)態(tài)特性好、響應(yīng)迅速、使用維護(hù)方便等特點(diǎn)，應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛。另?yè)?jù) BCC Research公司指出，生物傳感器和化學(xué)傳感器有望成為增長(zhǎng)最快的傳感器細(xì)分領(lǐng)域，預(yù)計(jì) 2014 至 2019 年的年均復(fù)合增長(zhǎng)率可達(dá) 9.7%。
二、未來(lái)值得關(guān)注的四大領(lǐng)域
隨著材料科學(xué)、納米技術(shù)、微電子等領(lǐng)域前沿技術(shù)的突破以及經(jīng) 濟(jì)社會(huì)發(fā)展的需求，以下領(lǐng)域可能成為傳感器技術(shù)未來(lái)發(fā)展的重點(diǎn)。
一是可穿戴式應(yīng)用。據(jù)美國(guó) ABI 調(diào)查公司預(yù)測(cè)，2017 年可穿戴 式傳感器的數(shù)量將會(huì)達(dá)到 1.6 億。以谷歌眼鏡為代表的可穿戴設(shè)備是 最受關(guān)注的硬件創(chuàng)新。谷歌眼鏡內(nèi)置多達(dá) 10 余種的傳感器，包括陀 螺儀傳感器、加速度傳感器、磁力傳感器、線性加速傳感器等，實(shí)現(xiàn) 了一些傳統(tǒng)終端無(wú)法實(shí)現(xiàn)的功能，如使用者僅需眨一眨眼睛就可完成 拍照。當(dāng)前，可穿戴設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域正從外置的手表、眼鏡、鞋子等 向更廣闊的領(lǐng)域擴(kuò)展，如電子肌膚等。日前，東京大學(xué)已開發(fā)出一種 可以貼在肌膚上的柔性可穿戴式傳感器。該傳感器為薄膜狀，單位面 積重量只有 3g/m2，是普通紙張的 1/27 左右，厚度也只有 2 微米。
二是無(wú)人駕駛。美國(guó) IHS 公司指出，推進(jìn)無(wú)人駕駛發(fā)展的傳感器 技術(shù)應(yīng)用正在加快突破。在該領(lǐng)域，谷歌公司的無(wú)人駕駛車輛項(xiàng)目開 發(fā)取得了重要成果，通過(guò)車內(nèi)安裝的照相機(jī)、雷達(dá)傳感器和激光測(cè)距儀，以每秒 20 次的間隔，生成汽車周邊區(qū)域的實(shí)時(shí)路況信息，并利用人工智能軟件進(jìn)行分析，預(yù)測(cè)相關(guān)路況未來(lái)動(dòng)向，同時(shí)結(jié)合谷歌地圖來(lái)進(jìn)行道路導(dǎo)航。谷歌無(wú)人駕駛汽車已經(jīng)在內(nèi)華達(dá)、佛羅里達(dá)和加利福尼亞州獲得上路行使權(quán)。奧迪、奔馳、寶馬和福特等全球汽車巨頭均已展開無(wú)人駕駛技術(shù)研發(fā)，有的車型已接近量產(chǎn)。
三是醫(yī)護(hù)和健康監(jiān)測(cè)。國(guó)內(nèi)外眾多醫(yī)療研究機(jī)構(gòu)，包括國(guó)際著名的醫(yī)療行業(yè)巨頭在傳感器技術(shù)應(yīng)用于醫(yī)療領(lǐng)域方面已取得重要進(jìn)展。如羅姆公司目前正在開發(fā)一種使用近紅外光（NIR）的圖像傳感器，其原理是照射近紅外光 LED 后，使用專用攝像元件拍攝反射光，通過(guò)改變近紅外光的波長(zhǎng)獲取圖像，然后通過(guò)圖像處理使血管等更加鮮明地呈現(xiàn)出來(lái)。一些研究機(jī)構(gòu)在能夠嵌入或吞入體內(nèi)的材料制造傳感器方面已取得進(jìn)展。如美國(guó)佐治亞理工學(xué)院正在開發(fā)具備壓力傳感器和無(wú)線通信電路等的體內(nèi)嵌入式傳感器，該器件由導(dǎo)電金屬和絕緣薄膜構(gòu)成，能夠根據(jù)構(gòu)成的共振電路的頻率變化檢測(cè)出壓力的變化，發(fā)揮完作用之后就會(huì)溶解于體液中。
四是工業(yè)控制。2012 年，GE 公司在《工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)：突破智慧與機(jī)器的界限》報(bào)告中提出，通過(guò)智能傳感器將人機(jī)連接，并結(jié)合軟件和大數(shù)據(jù)分析，可以突破物理和材料科學(xué)的限制，并將改變世界的運(yùn)行方式。報(bào)告同時(shí)指出，美國(guó)通過(guò)部署工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)，各行業(yè)可實(shí)現(xiàn)1%的效率提升，15 年內(nèi)能源行業(yè)將節(jié)省 1%的燃料（約 660 億美元）。2013 年 1 月，GE 在紐約一家電池生產(chǎn)企業(yè)共安裝了 1 萬(wàn)多個(gè)傳感器，用于監(jiān)測(cè)生產(chǎn)時(shí)的溫度、能源消耗和氣壓等數(shù)據(jù)，而工廠的管理人員可以通過(guò) iPad 獲取這些數(shù)據(jù)，從而對(duì)生產(chǎn)進(jìn)行監(jiān)督。此外，荷蘭殼牌、富士電機(jī)等跨國(guó)公司也都在該領(lǐng)域采取了行動(dòng)。
三、傳感器產(chǎn)業(yè)化發(fā)展的重要趨勢(shì)
近年來(lái)，隨著技術(shù)研發(fā)的持續(xù)深入，成本的下降，性能和可靠性的提升，在物聯(lián)網(wǎng)、移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)和高端裝備制造快速發(fā)展的推動(dòng)下，傳感器的典型應(yīng)用市場(chǎng)發(fā)展迅速。據(jù) BCC Research 公司分析指出，2014 年全球傳感器市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)達(dá)到 795 億美元，2019 年則有望達(dá)到 1161 億美元，復(fù)合年增長(zhǎng)率可達(dá) 7.9%。
一是亞太地區(qū)成為最有潛力的市場(chǎng)。目前，美國(guó)、日本、歐洲各國(guó)的傳感器技術(shù)先進(jìn)、上下游產(chǎn)業(yè)配套成熟，是中高端傳感器產(chǎn)品的主要生產(chǎn)者和最大的應(yīng)用市場(chǎng)。同時(shí)，亞太地區(qū)成為最有潛力的未來(lái)市場(chǎng)。英泰諾咨詢公司指出，未來(lái)幾年亞太地區(qū)市場(chǎng)份額將持續(xù)增長(zhǎng)，預(yù)計(jì) 2016 年將提高至 38.1%，北美和西歐市場(chǎng)份額將略有下降。
二是交通、信息通信成為市場(chǎng)增長(zhǎng)最快的領(lǐng)域。據(jù)英泰諾咨詢公司預(yù)測(cè)，2016 年全球汽車傳感器規(guī)模可達(dá) 419.7 億歐元，占全球市場(chǎng)22.8%；信息通信行業(yè)至 2016 年也可達(dá) 421.6 億歐元，占全球市場(chǎng) 22.9%，且有可能成為最大的單一應(yīng)用市場(chǎng)。而醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測(cè)、 油氣管道、智能電網(wǎng)等領(lǐng)域的創(chuàng)新應(yīng)用將成為新熱點(diǎn)，有望在未來(lái)創(chuàng) 造更多的市場(chǎng)需求。
三是企業(yè)并購(gòu)日趨活躍。美國(guó)、德國(guó)和日本等國(guó)的傳感器大型企業(yè)技術(shù)研發(fā)基礎(chǔ)雄厚，各企業(yè)均形成了各自的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，整體市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)格局已初步確立（附表）。需要指出的是，大公司通過(guò)兼并重組，掌控技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和專利，在“高、精、尖”傳感器和新型傳感器市場(chǎng)上逐步形成壟斷地位。在大企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)壓力下，中小企業(yè)則向“小（中）而精、小而專”的方向發(fā)展，開發(fā)專有技術(shù)，產(chǎn)品定位特定細(xì)分市場(chǎng)。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2010 年 7 月至 2011 年 9 月，傳感器行業(yè)中大規(guī)模并購(gòu)交易多達(dá) 20 多次。如美國(guó)私募股權(quán)公司 Veritas Capital III 以 5 億美元現(xiàn)金收購(gòu)珀金埃爾默公司的照明和檢測(cè)解決方案（IDS）業(yè)務(wù)；英國(guó)思百吉公司以 4.75 億美元收購(gòu)美國(guó)歐米茄工程公司的溫度、測(cè)量設(shè)備制造業(yè)務(wù)。目前，越來(lái)越多的并購(gòu)交易在新興市場(chǎng)國(guó)家出現(xiàn)。（本文轉(zhuǎn)自《科技發(fā)展研究》第32期）
附表：全球主要傳感器企業(yè)及產(chǎn)品分布
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企業(yè)名稱 |
所屬國(guó)家 |
主要領(lǐng)域 |
主要產(chǎn)品 |
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意法半導(dǎo)體 |
瑞士 |
汽車電子、工業(yè)控制、醫(yī)療電子、消費(fèi)電子、通信、計(jì)算機(jī) |
壓力、加速度傳感器、MEMS 射頻器件、陀螺儀 |
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飛思卡爾 |
美國(guó) |
汽車電子、消費(fèi)電子等 |
壓力、加速度傳感器 |
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博世 |
德國(guó) |
汽車電子、消費(fèi)電子等 |
壓力、加速度傳感器、氣體傳感器、陀螺儀等 |
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美國(guó)PCB 公司 |
美國(guó) |
航空、航天、船舶、兵器、核工業(yè)、石化、水力、電力、輕工、交通和車輛等 |
加速度、壓力、力、扭矩、沖擊、振動(dòng)、聲學(xué)、模態(tài)及水聲測(cè)量的傳感器和配套的儀器設(shè)備 |
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ENDEVCO |
美國(guó) |
航空、航天、船舶、汽車、防衛(wèi)、石化、計(jì)量研究及其他多種領(lǐng)域 |
PE、IEPE、PR、VC 等類型的加速度計(jì)和高頻響應(yīng)壓力傳感器；獨(dú)立信號(hào)調(diào)理放大器，電荷轉(zhuǎn)換器，振動(dòng)信號(hào)測(cè)量?jī)x等；各種類型的傳感器專用低噪聲屏蔽線纜；傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng) |
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ABB |
瑞士 |
電流、電壓測(cè)量，電力、動(dòng)力機(jī)車、工業(yè)機(jī)器人 |
容性、電流、感性、光電、超聲波、電壓傳感器 |
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Vishay |
美國(guó) |
工業(yè)稱重 |
應(yīng)變片、稱重傳感器 |
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HBM |
德國(guó) |
工業(yè)生產(chǎn)監(jiān)控 |
力、扭矩、位移、應(yīng)變式稱重傳感器 |
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MEAS |
美國(guó) |
航天航空、國(guó)防軍工、機(jī)械設(shè)備、工業(yè)自動(dòng)控制、汽車電子、醫(yī)療、家用電器、暖通空調(diào)、石油化工、空壓機(jī)、氣象檢測(cè)、儀器儀表 |
壓力、位移、交位移、磁敏、霍爾、加速度、振動(dòng)、濕度、溫度、液體特性、紅外、光電、壓電薄膜傳感器 |
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美國(guó)邦納工程國(guó)際有限公司 |
美國(guó) |
工業(yè)自動(dòng)化 |
光電傳感器、視覺(jué)傳感器、旋轉(zhuǎn)編碼器 |
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美國(guó)艾默生電氣公司 |
美國(guó) |
工業(yè)自動(dòng)化、過(guò)程控制、供暖、通風(fēng)及空調(diào)、電子及電信、家電及工具 |
振動(dòng)傳感器、PH 傳感器 |
|
飛利浦 |
荷蘭 |
工業(yè)、汽車 |
稱重、溫度傳感器 |
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羅克韋爾自動(dòng)化有限公司 |
美國(guó) |
采礦、水泥、起重機(jī)及船舶應(yīng)用、地鐵、半導(dǎo)體、水及污水處理、輪胎、石油及石化、冶金、汽車、食品與飲料、電力及能源 |
壓力傳感器 、溫度傳感器、容性接近傳感器、感性接近傳感器、光電傳感器、超聲傳感器 |
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通用電氣公司 |
美國(guó) |
飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)、發(fā)電設(shè)備、水處理和安全技術(shù)、到醫(yī)療成像、商務(wù)和消費(fèi)者金融、媒體和工業(yè)產(chǎn)品 |
車載傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器、光學(xué)傳感器（元件） |
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日本橫河電機(jī)株式會(huì)社 |
日本 |
工業(yè)自動(dòng)化控制、測(cè)量和信息系統(tǒng) |
EJA 型諧振式壓力傳感器、PH 傳感器、流量傳感器 |
| 歐姆龍公司
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日本 |
工業(yè)自動(dòng)化控制系統(tǒng)、電子元器件、汽車電子、社會(huì)系統(tǒng)以及健康醫(yī)療設(shè)備 |
溫/濕傳感器、開關(guān)量傳感器 |
|
富士電機(jī)集團(tuán) |
日本 |
驅(qū)動(dòng)控制器/不間斷電源、自動(dòng)化及儀器儀表、低壓/中高壓電器 |
壓力傳感器、電容傳感器和變送器 |
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基恩士集團(tuán) |
日本 |
工業(yè)自動(dòng)化 |
光纖傳感器、光電傳感器、數(shù)字激光傳感器、接觸式傳感器、RGB 顏色傳感器、近接傳感器、壓力傳感器 |
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西門子股份公司 |
德國(guó) |
工業(yè)、能源和醫(yī)療業(yè)務(wù)領(lǐng)域 |
溫度/壓力傳感器、工業(yè)自動(dòng)化產(chǎn)品中所用傳感器 |
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英飛凌科技股份公司 |
德國(guó) |
半導(dǎo)體和系統(tǒng) |
壓力傳感器、磁力傳感器、胎壓傳感器 |
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柏西鐵龍公司 |
德國(guó) |
鋼鐵行業(yè)或者高溫制造行業(yè) |
高溫傳感器、熱式流量傳感器、紅外測(cè)溫傳感器、光柵 |
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德國(guó)德森克公司 |
德國(guó) |
工業(yè)自動(dòng)化 |
聚焦/對(duì)射/反射傳感器、可編程色標(biāo)傳感器、電容式標(biāo)簽傳感器、電感式環(huán)行傳感器、環(huán)式/角式/叉式/框架式光柵傳感器、接近開關(guān) |
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堡盟集團(tuán) |
瑞士 |
工廠及過(guò)程自動(dòng)化 |
光電傳感器、電感式傳感器、電容式傳感器、超聲波傳感器、作用力/應(yīng)變/壓力傳感器、磁性傳感器 |
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凱樂(lè)測(cè)量技術(shù)有限公司 |
瑞士 |
航空、艦船、火車、汽車測(cè)壓系統(tǒng)、工程機(jī)械、石油、石化、電站、環(huán)保、冶金、空調(diào)等領(lǐng)域 |
擴(kuò)散硅壓力傳感器、變送器、陶瓷電容式壓力傳感器、變送器、擴(kuò)散硅和陶瓷電容式液位傳感器、變送器、數(shù)字式壓力表、壓力校驗(yàn)儀 |
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Datalogic S.p.A. |
意大利 |
工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng) |
色標(biāo)傳感器、微型傳感器、管狀傳感器、反射及熒光傳感器、顏色傳感器、迷你型傳感器、光纖顏色傳感器 |
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Wise Control Inc. |
韓國(guó) |
壓力、溫度和天然氣測(cè)量領(lǐng)域 |
電容式壓力傳感器 |
